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真空擴(kuò)散泵機(jī)組操作規(guī)程

         只有在使用時(shí)遵守操作規(guī)程,才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實(shí)踐,對排氣系統(tǒng),也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以真空擴(kuò)散泵機(jī)組為例(其他真空設(shè)備可仿照施行),其操作規(guī)程如下:
         (1)檢查真空系統(tǒng)各部分,熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu),了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。
         (2)關(guān)閉放氣閥門,啟動機(jī)械泵,對系統(tǒng)進(jìn)行抽氣,并用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢漏。如系全金屬系統(tǒng),則可關(guān)閉閥門,用真空計(jì)讀數(shù)記下P-t曲線(作靜態(tài)升壓試驗(yàn))。如壓強(qiáng)隨時(shí)間呈直線上升,可判斷系統(tǒng)有漏氣源,應(yīng)進(jìn)行檢漏。
         (3)當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到油擴(kuò)散泵的前置壓強(qiáng)(5×10-2托)后,啟動擴(kuò)散泵,使加熱電流逐漸升到額定值。在啟動擴(kuò)散泵前,先開冷卻水。
         (4)擴(kuò)散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計(jì))判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上(熱偶計(jì)近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計(jì)。使用時(shí)先對規(guī)管除氣,后測量真空度。
         (5)對系統(tǒng)進(jìn)行烘烤去氣處理。對玻璃系統(tǒng)而言,硬玻璃烘烤溫度為400℃~450℃ ,軟玻璃為350℃~400℃ 。去氣時(shí)間視具體要求而定,一般1~2小時(shí)。去氣完后,真空度仍達(dá)不到要求,應(yīng)使用電離計(jì)記P-t曲線,以判斷是否漏氣。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑處,看表針的擺動以發(fā)現(xiàn)漏孔。若為去氣不良,應(yīng)進(jìn)一步烘烤,增加時(shí)間去氣。新系統(tǒng)一般要抽較長時(shí)間才能達(dá)到預(yù)期的真空度。真空度老上不去,則要考慮系統(tǒng)設(shè)計(jì)、安裝是否合理,有無死空間,放氣源多否,維修時(shí)是否帶進(jìn)了臟物,被抽容器是否清潔等其他因素。
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2019/07/30 10:01:41 3359 次

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