真空腔體加工檢漏的方法主要有三種，其中氦質(zhì)譜檢漏是真空檢漏領(lǐng)域里不可少的一種，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中有較多應(yīng)用。
真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測(cè)法，真空計(jì)檢漏法。下面就來(lái)詳細(xì)的介紹下這三種方法。
一、氦質(zhì)譜檢漏
在真空檢漏中有很多應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力的作用下偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而形成了圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)到。其中呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法。
二、真空封泥檢測(cè)法
用真空泥封住可疑的漏點(diǎn)，此時(shí)要注意觀察真空度的變化，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又會(huì)下降，這說(shuō)明就是一個(gè)漏點(diǎn)哦。然而，這個(gè)方法在實(shí)際檢測(cè)中用的比較少。
三、真空計(jì)檢漏法
部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，例如電離真空計(jì)，熱偶計(jì)。用氣體或者液體做示漏物質(zhì)，這些真空計(jì)就成了探測(cè)器，一般鍍膜機(jī)上都會(huì)有真空計(jì)，在實(shí)際應(yīng)用中也是比較常用的檢漏方法。熱偶計(jì)的示漏物質(zhì)有二氧化碳，丁烷，酒精等，熱偶計(jì)的反應(yīng)比較慢，要仔細(xì)觀察。用于電離計(jì)的示漏物質(zhì)主要有氦，氬，酒精等。
以上呢就是比較常用的三種真空腔體加工檢漏的方法，大家呢也可以根據(jù)實(shí)際需要選擇適合的方法。
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