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真空腔體烘烤

       觀察真空腔體烘烤時的真空度變化結(jié)果,烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時,開始給加熱帶逐漸通電加熱,保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關(guān)閉離子泵,同時也給離子泵通電進行加熱烘烤,這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高,腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少,因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時,切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源,然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱,但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后,啟動離子泵和鈦升華泵,加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少,系統(tǒng)的真空度會迅速好轉(zhuǎn)。
       新完成的腔體第一次烘烤時,一般需要一周時間,重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了準確地測量真空度,停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話,烘烤后真空度可提升幾個數(shù)量級。    
       一個大氣壓在1cm2的面積上產(chǎn)生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。圓筒或球形的腔體,由于構(gòu)造的特殊性使得壓力分散,腔體的壁厚2~4mm就不會變形。但是,對于方形腔體,側(cè)面的平板上要承受上噸的壓力,必須通過增加壁厚或設(shè)置加強筋,才能防止變形。方形腔體一般情況下要比筒形和球形腔體重,而且價格高。所示為幾種代表性的真空腔體,分別為筒形、球形和方形。  
2019/06/04 19:25:05 4041 次

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